河北工业欧宝ob官方网站(中国)有限公司无尘车间设计建设降低能耗后期使用方案

         空气洁净度级别取决于所完成的工序。最敏感的接触敞露晶园欧宝ob官方网站(中国)有限公司的工序(光刻 、酸洗 溅射)生产特征尺寸为1微米的微电路时,上述工局应在ISO4-ISO5级洁净度的洁净室中完成。若采用更小的特征尺寸时,便需要ISO3级,ISO2级等洁净区。在需要ISO5级洁净度(国外标准209D的100级)的工艺方面,广泛采用这样的方案,即高洁净度级别的欧宝ob官方网站(中国)有限公司洁净室占用很大面积。因此便将设备移至洁净室外面,仅有设备控制盘和进出料机构在欧宝ob官方网站(中国)有限公司洁净室内,而设备本身位于洁净度级别较低的技术维修区,当特征尺寸在1微米左右时,可采用这种工艺。洁净度级别更高的局部洁净区获得了广泛的应用,例如光刻间,化学酸洗间,清洗间等。直通式防护,区域防护和所谓工艺厅都是适合此种工艺的典型洁净室方案。因此高洁净度级别欧宝ob官方网站(中国)有限公司洁净室占用着过多的面积。对洁净度的要求还会讲一步提高 若仍按传统的洁净室概念去对待,必将导致解决方案的非常不合理,其出路就是采用隔离工艺。对工业欧宝ob官方网站(中国)有限公司洁净室产生污染物可以避免第二次污染在河北做工业欧宝ob官方网站(中国)有限公司、精密制造欧宝ob官方网站(中国)有限公司、镜片欧宝ob官方网站(中国)有限公司装修设计找卓泰净化

河北工业欧宝ob官方网站(中国)有限公司无尘车间设计建设降低能耗后期使用方案